배선–칩 및 기판–소자 접합부. 기능성 부품의 접속과 조립을 중심으로 분류한다.
서로 다른 소재와 부품을 연결하려면 전기가 잘 통하는지뿐 아니라 접합부가 변형을 견디는지, 필요한 부분이 절연되고 보호되는지도 살펴야 합니다. 이 주제에서는 칩과 연성 회로의 접합, 센서 시스템 조립, 봉지 기술을 소개합니다. 관련 소재와 소자 물리 연구도 함께 모았습니다.
d-HAPT: 하이드로젤 기반 이종재료 접합은 건조 PVA·탄닌산 접착층으로 금속·고분자·하이드로젤을 연결하는 연구입니다. 재료 사이의 접착과 조립한 소자의 변형 중 접합 상태를 평가한 결과로 읽고, 미세 피치 IC 접속의 검증과는 구분합니다.
단단한 IC 칩과 변형 가능한 회로의 패키징 종설은 선행연구를 접착, 전기적 접속 안정성, 변형 허용성에 따라 비교합니다. 서로 다른 논문의 최대 변형률과 반복 하중 시험을 구분하고, 조밀한 접점의 단락·단선과 접합부 피로를 함께 살펴봅니다.
MOLE: 절연 봉지층과 방오 외부 계면은 실리콘·파릴렌 C 다층의 접합·수분 차단과 윤활액을 함침한 표면의 생체 반응을 함께 다룹니다. 85 °C 가속 시험과 7일 생쥐 피하 이식 결과는 서로 다른 평가이며, 장기 이식 수명이나 임상 효과를 입증한 값으로 환산하지 않습니다.
H-ACF는 하이드로젤을 이용한 이방성 전도 필름을 다룬 2023 MRS Spring Meeting 공개 발표 자료로 확인됩니다. 여기서는 학회 발표로 구분하며, 대응하는 동료심사 저널 논문의 DOI가 확인되기 전에는 아래 정식 논문 목록에 합치거나 IC 접합 신뢰성이 확립된 성과로 설명하지 않습니다.
전기적 연결과 기계적 접합, 수분 차단과 절연을 함께 고려한 패키징을 다룹니다.
Materials Science and Engineering R: Reports, 171, 101285 (2026)
단단한 IC 칩을 연성 전자소자에 패키징하는 방법을 세 가지 구조와 세 가지 계면 요건으로 정리한 종설로, 100 μm 미만 미세 피치를 핵심 과제로 제시합니다.
Small, 22(17), e10949 (2026)
실리콘·Parylene C 접합층과 윤활 표면을 결합한 MOLE 봉지 기술입니다. 85 °C 가속 열화에서 절연 성능을, 생쥐 피하 7일 이식에서 소자 열화와 조직 반응을 평가했으며 인체의 장기 사용 수명을 입증한 결과는 아닙니다.
Advanced Electronic Materials, 11(19), e00475 (2025)
유리 덮개부터 박막·하이브리드 다층 봉지까지 OLED 봉지 기술을 정리하고, 10−6 g m−2 day−1 수준의 수증기 투과율 요건을 유연·신축·생체전자 응용과 연결한 종설입니다.
센서, 자극 장치, 구동부와 회로를 연결하여 시스템을 구성하는 연구입니다.
ACS Nano, 18(19), 12210-12224 (2024)
의료용 봉합사 위에 만든 무선·무칩 섬유 변형 센서로 재건한 돼지 아킬레스건을 10주간 추적했고, 변형률은 정상 4.38% 대비 5.83%였습니다.
Advanced Electronic Materials, 10(8), 2400013 (2024)
자가치유·접착성 하이드로겔-Ecoflex 마찰전기 나노발전기가 약 180 V, 0.8 μA를 출력했고, 전력 관리 회로로 축전기를 5 V까지 충전했습니다.
ACS Nano, 17(8), 7296–7310 (2023)
윤활액이 스민 내벽과 탄소나노튜브 압력 센서를 갖춘 자가치유 고분자 인공혈관으로, 25G 바늘 구멍을 다시 막고 최대 100 mL/min의 유량 변화를 감지했습니다.
Nanoscale, 13(43), 18112-18124 (2021)
스스로 변형을 감지하고(게이지 계수 약 686) 열응답 외피에서 약물을 방출하는 코어-셸 전자 봉합사로, 세포와 적출 돼지 피부에서 평가했습니다.
Advanced Materials, 30 (10), 1704189 (2018)
패턴 CNT–GelMA·PEG 하이드로젤에 심근세포와 금 미세전극을 결합한 가오리형 연성 구동체로, 국소 자극으로 박동을 0.5·1.0 Hz에 맞췄습니다.
여러 소재와 부품을 결합하는 제작·인쇄·접합 방법을 소개합니다.
Advanced Healthcare Materials, 14(1), 2401735 (2025)
깊이 카메라로 측정한 상처 형상에 맞춰 6축 로봇이 무선 전기자극 패치를 인쇄했고, 체외에서 섬유아세포와 내피세포의 이동을 촉진했습니다.
npj Flexible Electronics, 8, 39 (2024)
건조 PVA·탄닌산 접착층(d-HAPT)의 수분 유도 사슬 얽힘으로 이종 전자재료를 접합합니다. 건조–건조 접합에는 계면수와 가열을, 습윤–건조 접합에는 하이드로젤의 수분을 이용하며, 습윤–습윤 및 건조재료–조직 접착에는 한계가 있습니다.
Biosensors, 13(1), 83 (2023)
미세유체 임피던스 바이오센서를 6가지 기판 유형으로 분류하고, 흐르는 세포를 읽는 임피던스 유세포 분석과 정지 시료의 임피던스 분광을 구분한 종설입니다.
이 테마로 이어질 수 있는 기초 소재·공정 연구의 임시 분류. 테마 적합성을 확정하지 않으며 논문별 판단 근거와 불확실성을 표시한다.
Small Science, 6(9), e70402 (2026)
피부 접촉, 신축 구조, 열 흐름 경로가 착용형 열전 소자의 성능을 좌우하는 방식을 정리한 종설로, Table 4의 정규화 출력은 최대 25.34 μW cm−2 K−2입니다.
ACS Applied Materials & Interfaces, 17(51), 70047 - 70058 (2025)
유도 가열로 니티놀의 형상 회복과 PMMA의 CO2 미세 발포를 함께 일으키는 복합재로, 발포 후 충격 강도가 142% 높아졌고 기공률에 따라 모델 약물 방출을 조절했습니다.
Small, 21(34), 2501590 (2025)
나노리본으로 고정한 ZIF-8 막을 불소계 고분자로 밀봉해 이상 H2/N2 선택도 209를 얻었고, 플라즈마 처리를 더해 H2/CH4 선택도를 1218로 높였습니다.
2022 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS), 1 - 4 (2022)
진동판 아래에 나노 실리콘 스프링을 넣은 정전용량형 미세가공 초음파 변환기로 5 VPP에서 계산상 표면 음압 1.1 MPa(220 kPa/V)를 얻었습니다.
Small, 18(14), 2107060 (2022)
액체 투과형 Fabry–Perot 공진기에서 전압으로 약 10 nm 간극에 물을 침투시켜 0.6초 안에 공진 파장을 87 nm 이동시키고 색 변화로 읽었습니다.
ACS Applied Nano Materials, 1(12), 6630-6640, (2018)
i-motif DNA로 dsDNA 피복 탄소나노튜브를 가교해 습식 방사한 미세섬유로, 약 27 S/cm 전도도와 pH에 따라 바뀌는 다공성·과산화수소 응답을 보였습니다.
Sensors & Actuators B: Chemical, 267, 237-244 (2018)
전장 히스톤 H3를 붙인 확장 게이트 FET로 카텝신 L의 절단 활성을 검출해, 형광법(10 μg/mL)보다 낮은 1 ng/mL의 검출 한계를 보였습니다.
Advanced Functional Materials, 27 (29), 1701618 (2017)
한쪽 면에 팔라듐을 입힌 기울어진 고분자 나노섬유가 4 vol% 수소에서 펴지며 빛 투과율이 약 65% 변했고, 응답 시간은 5.1초였습니다.
Journal of Nanomaterials, 2015(1), 975043 (2015)
PMMA를 탄소원으로 은 나노입자 위에 다층 그래핀을 성장시켜 공기 중 산화를 막았고, 염료 라만 피크가 36,304에서 24,436으로 유지되었습니다(맨 은은 113).
Journal of Materials Chemistry C, 3(39), 10293-10301 (2015)
InP 기판의 Ta1−xZrxO 게이트 유전막 아래에 원자층 증착 SiO2 중간층을 넣어 MOS 커패시터의 정전용량 분산을 21.1%에서 11.3%로 줄이고 누설전류를 낮췄습니다.
Nanomaterials, 5(3), 1493-1531 (2015)
전도성 직물, 섬유형 트랜지스터·발광소자·압력 센서, 직물 기반 에너지 수확·저장 소자의 보고 성능과 남은 과제를 정리한 종설입니다.
Scientific Reports, 5, 12326 (2015)
두께 275 μm의 초소수성 PDMS 마이크로 기둥 필름에 진공으로 오목부를 만들어 물방울을 이동시켰고, 표면 위 혼합으로 GFP 억제율을 70.0%에서 78.8%로 높였습니다.
IEEE Transactions on Terahertz Science and Technology, 5 (4), 605-612 (2015)
광펌프-테라헤르츠 탐침 분광으로 실리콘 나노와이어에서 오제 산란이 표면 트랩 재결합을 상쇄함을 보였고, SiO2 피막 나노와이어의 운반자 수명은 약 1.1 ns였습니다.
ACS Applied Materials & Interfaces, 7 (6), 3554-3561 (2015)
단층 그래핀 위 팔라듐 나노입자에 PMMA 막을 씌워 메탄·일산화탄소·이산화질소에는 반응하지 않고 2% 수소에 평균 66.37%로 응답한 센서입니다.
Journal of Power Sources, 274, 1140-1146 (2015)
카본블랙 촉매 지지체에 DTS 자기조립 유기실란 코팅을 입혀 소수성으로 바꾸었고, 1.3 V 부식 시험의 CO2 배출량을 291 μL에서 177 μL로 줄였습니다.
RSC Advances, 5(8), 5754-5761 (2015)
초소수성 Ag/Cu 홈 트랙 위 2 mm에 둔 축전기로 굴러가는 5 μL 물방울의 경로를 비접촉 방식으로 바꾸어 입구 3개와 출구 4개 사이에서 이동시켰습니다.
Nanoscale Research Letters, 9, 610 (2014)
유연 고분자 X선 검출기에 탄소나노튜브 0.01 wt.%를 넣어 150 V 감도를 12.5에서 38.9 μC/mGy/cm3로 높였고, 신호대잡음비를 고려한 최적 함량은 0.005 wt.%였습니다.
RSC Advances, 4(104), 60123-60130 (2014)
APTMS와 MPA를 결합한 2 nm 단분자막이 APTMS 대비 구리 확산 장벽의 t63.2를 4배 늘려 50 nm TaN과 비슷했고, 어닐링 후 Cu/SiO2 접착 에너지를 33% 높였습니다.
ACS Applied Materials & Interfaces, 6 (12), 9053-9060 (2014)
물의 모세관 힘으로 주름 틀의 은 나노입자 선 배열을 접착제 없이 평탄한 기판에 인쇄했고, SERS 기판으로 R6G를 10⁻¹² M까지 검출했습니다.
ACS Nano, 7 (12), 10809-10817 (2013)
탄소나노튜브, 블록공중합체 미셀, 고분자 간 FRET을 결합한 용액 공정 교류 전계발광 소자가 청·녹·적색 약 2300, 6000, 5000 cd m⁻²를 보였습니다.
Thin Solid Films, 524, 1-19 (2012)
유연 기판 위 나노재료를 압전 에너지 수확, 화학·압력 센서, 생체 통합 전자소자에 활용한 연구를 정리한 2012년 비평 종설입니다.
Small, 8 (10), 1614-1621 (2012)
용액 증발 중 미세 홈에 정렬한 실리콘 나노와이어를 플라스틱 기판에 그라비어 인쇄했고, 이 FET는 17.1 cm²/V·s의 정공 이동도를 보였습니다.
Journal of Nanoparticle Research, 14(5), 840 (2012)
급속 열산화와 불산 식각으로 무전해 식각 p–n+ 실리콘 나노와이어 표면을 매끄럽게 해 4 V 순방향 전류밀도를 약 6.3배 높였습니다.
ACS Applied Materials & Interfaces, 3 (12), 4722-4729 (2011)
초소수성 Si 나노와이어의 DTS 코팅을 자외선으로 패터닝해 지울 수 있는 친수성 트랙을 만들었고, 5° 기울인 기판에서 8 μL 물방울을 6.91 cm/s로 안내했습니다.
Journal of the Korean Physical Society, 59 (2), 501-504 (2011)
수용액 무전해 식각으로 Si/SiGe/Si PIN 적층을 수직 나노와이어 포토다이오드로 만들었으며, 역바이어스 암전류는 벌크 소자(1.0 × 10⁻² A)보다 낮은 9.2 × 10⁻⁶ A였습니다.
Applied Surface Science, 257 (11), 4973-4977 (2011)
KOH로 식각한 Si 미세공동 안에서 MOCVD로 성장한 ZnO 나노와이어는 종횡비와 밀도가 높았고, 이를 이용한 UV 검출기는 온/오프 비 6, 감쇠 시간 약 5초를 보였습니다.
Japanese Journal of Applied Physics, 49(10R), 104003 (2010)
MOS 메모리 커패시터에서 백금 나노결정 크기를 15.1~55.2 nm로 키우자 평탄대 전압 이동이 5.75 V에서 13.05 V로 커졌고, 전하 유지는 가장 작은 나노결정에서 가장 길었습니다.
Applied Surface Science, 255 (8), 4616-4622 (2009)
동시 스퍼터링한 ZnO:Ga 박막을 623 K 수소 분위기에서 열처리해 Ga2O3·ZnGa2O4를 환원하고, 유리 대비 유리 대비 90% 이상의 투과도와 5.2 × 10⁻⁴ Ω cm의 비저항을 얻었습니다.